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9 月 24 日消息，消息韩媒 etnews 当地时间今日报道称，力士两年量翻SK 海力士计划在未来两年内新购置约 20 台 ASML 的加速 EUV 光刻系统。考虑到 SK 海力士目前持有约 20 台用于研发和生产博体育 EUV 机台，引进有望这意味着这家存储巨头对此类设备的刻机保有规模将在两年内翻倍。

在 SK 海力士的内部星空·体育APP下载两大业务领域中，内存端的署数 EUV 光刻工艺早已随着 2021 年的 1a nm DRAM 实现商业化，EUV 的消息应用规模也在随着内存世代演进稳步提升。

而由于 AI 发展对企业级高性能存储尤其是力士两年量翻 HBM 需求的提升，SK 海力士需要更多的加速 EUV 设备来扩大先进 DRAM 内存的生产规模。

除目前主要应用的引进有望 Low-NA EUV 光刻机，SK 海力士本月早些时候还在存储器业界引进了首台量产型 High-NA EUV 光刻机，刻机即 ASML 的内部 TWINSCAN EXE:5200B，部署在韩国利川 M16 生产基地中。署数

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（凤凰网宁波 五珍、徽多昌）